米雷迪恩(mRadian)飛秒光源為臺灣首家自主開發飛秒雷射(femtosecond laser)與桌上型極紫外光(extreme ultraviolet light source, EUV)光源的新創公司，力求發展國內首創體積最小、光源更亮的桌上型超快雷射光源，讓國內基礎光源研究發光、產業工業更加普及應用。

撰文/徐淨

「飛秒雷射」俗稱超快雷射，1飛秒為10-15秒，因為脈衝非常短，可在瞬間產生超高功率，其瞬間功率相當於核電廠一個機組的發電功率或更高。

利用飛秒雷射，可在氣態介質中驅動產生波長更短的「極紫外光」，具有超高空間及精準時間解析度，是應用於半導體缺陷檢測、微孔蝕刻等，更衍生應用在奈米檢測及生醫影像重要的工具。

目前，國家同步輻射中心雖亦有能力提供研究用途極紫外光光源，但其設備將近2個操場大。米雷迪恩極紫外光光源設備已發展至光學桌大小，未來目標更要縮小至更小的桌上型機台，簡易如鑰匙開關便能操作使用。

奈米級微影世界

清華大學光電研究所助理教授陳明彰比喻，「人類活在『秒』的世界，但奈米世界的時間是以『埃秒』(10-18秒)為單位計算，想看到電子、原子、分子、材料如何在奈米世界下運作，就需要更快、更亮的光源，才能夠捕捉。」

「例如電子如何在奈米薄膜上運動、熱能如何在奈米電晶體內傳遞、光合作用中光能是如何被儲存，超快雷射光源都是可以帶領我們在微觀世界中探索的工具。」陳明彰說。

光的波長與空間解析度成正比...